《行动计划》共有五部分内容：
一、总体情况
对我省半导体及集成电路产业发展现状作了概述，提出问题与挑战、优势和机遇。
二、工作目标
从产业规模、创新能力和产业布局三个方面提出发展目标，到2025年，集群主营业务收入突破4000亿，年均增长超过20%，全行业研发投入超过5%，珠三角地区建设成为具有国际影响力的半导体及集成电路产业集聚区。
三、重点任务
提出了推动产业集聚发展、突破产业关键核心技术、打造公共服务平台、保障产业链供应链安全稳定、构建高水平产业创新体系等五方面重点任务。
四、重点工程
围绕产业链上下游，提出底层工具软件培育工程、芯片设计领航工程、制造能力提升工程、高端封装测试赶超工程、化合物半导体抢占工程、材料及关键电子元器件补链工程、特种装备及零部件配套工程、人才集聚工程等八大工程。
五、保障措施
提出了加强组织领导、加大财政和金融支持力度、支持重大项目建设等保障措施。
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